石英玻璃是一种以二氧化硅(SiO₂)为单一成分的玻璃,具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的要求。
石英玻璃的物理特性
- 硬度与耐热性 :硬度达莫氏七级,耐高温性能可靠,长期使用温度可达1100-1200℃,短期可耐受1400℃以上高温。
- 热稳定性:线膨胀系数是普通玻璃的1/10-1/20,抗热震性极佳,适合极端温度环境。
- 化学稳定性:除氢氟酸、热磷酸外,对大多数酸具有良好耐受性,化学稳定性强。
- 光学性能:透明石英玻璃在紫外到红外线范围内透射性能可靠,常用于光学仪器和光导纤维。
- 电绝缘性 :电阻值是普通玻璃的1万倍,高温下仍保持良好绝缘性能。电导率低,适合电气设备。
- 耐辐射性 :可耐紫外线和红外线辐射,适用于户外设备。
- 透光性能:可透过紫外到红外线全波段,可见光透过率93%以上,紫外光谱区透射比达80%以上,保障光学观测设备清晰度。
- 耐腐蚀性:除氢氟酸外,几乎不与酸类物质反应,耐酸性能是陶瓷的30倍、不锈钢的150倍。
石英玻璃的应用领域
- 电子与半导体 :用于半导体制造设备、电子元件封装。
- 军工与国防 :耐高温、耐腐蚀,用于航天器、武器系统。
总之,
石英玻璃用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器,光学仪器,实验室仪器、电学设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材等工业,应用十分广泛。
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